|
| Laboratuvar |
: |
İleri Litografik Yöntemler Laboratuvarı
|
|
|
|
| Cihaz Adı |
: |
UV MASKE HİZALAYICI |
| Marka |
: |
SÜSS MİCROTEC |
| Model |
: |
MJB4 |
| Teknik Özellik |
: |
Litografide maske hizalayıcı olarak ve örnek üzerindeki fotorezist materialini UV ışığa istenilen süre kadar maruz bırakmak amacıyla kullanılır. Kontak, Hard, Soft, Vakum ve düşük vakum modları vardır. 5 saniye UV ışığa maruz bırakma ve 5 saniye bekleme süresi bulunmaktadır. |
| Cihaz Kaynağı |
: |
Diğer |
| Miktar |
: |
1 |
| Alım Tarihi |
: |
|
|
|
|
| Laboratuvar Adresi |
: |
İstanbul Üniversitesi, Fen Fakültesi, Fizik Bölümü, İleri Litografik Yöntemler Laboratuvarı, Vezneciler, Fatih/İstanbul, 34134
|
|
