Temiz oda, mikro ve nano boyutlarda fabrikasyon, görüntüleme ve yapısal karakterizasyon işlemlerine olanak vermektedir.
Kalkınma Bakanlığının altyapı projesi olarak 2014 yılında kurulumu tamamlanmış olan İleri Litografik Yöntemler Laboratuvarı, 100 m2 alanda 10, 100 ve 1000 sınıfı temiz oda ortamında, elektronik/optoelektronik aygıtların nano/mikro boyutta fotolitografik ve kuru aşındırma teknikleriyle fabrikasyonu, nanolitografi, katıların yüzey ve kesitlerinin nanometre skalasında görüntülenmesi, malzemelerin bileşimlerinin belirlenmesine yönelik araştırmalar yapılmasına uygun donanıma sahiptir.
100 sınıfı sarı odada fotolitografi prosesi donanımı: (10 sınıfı laminar akışlı, döndürerek kaplama, sıcak tabla, ultrasonik temizleyici kimyasal tezgâh, Maske hizalayıcı, termal buharlaştırma sistemi, profilometre), kuru aşındırma prosesi donanımı (Odaklanmış iyon/elektron demeti), Görüntüleme cihazları (SEM, AFM), malzeme bileşimi tayini (EDS).
Clean room enables micro and nano-sized fabrication, structural characterization and their imaging process.
Laboratory of Advanced Lithographic Methods, founded in 2014 as an outcome of Ministry of Development-funded infrastructure project, is suitably equipped to enable studies fabrication of electronic/optoelectronic devices by photolithographic and dry etching techniques at a nano/micro scale, and nanolithography, nanometric imaging of surfaces and sections of solids, and
determination of elemental composition of materials in an area of 100 m2 in Class 10, 100 and 1000 clean rooms.
Photolithography process equipment: (Class 10 laminar flow, rotary coater, hot plate, ultrasonic
cleaning chemical bench, Mask aligner, thermal evaporation system, profilometer), dry etching equipment (focused ion/electron beam system) in Class 100 yellow room, Imaging devices (SEM, AFM), determination of elemental composition of materials (EDS).
Görev | Ünvan | Ad | Soyad | Dahili Telefon | AVES Link | |
---|---|---|---|---|---|---|
Cihaz Sorumlusu | ARAŞTIRMA GÖREVLİSİ | GÖKSENİN | KALYON | CV | ||
Cihaz Sorumlusu | DOKTOR ÖĞRETİM ÜYESİ | MUSTAFA | AYDIN | CV | ||
Cihaz Sorumlusu | DOKTOR ÖĞRETİM ÜYESİ | SELMAN | MUTLU | CV | ||
Cihaz Sorumlusu | DOÇENT | FURKAN | KURUOĞLU | CV | ||
Cihaz Sorumlusu | DOÇENT | FAHRETTİN | SARCAN | CV | ||
Lab Sorumlusu | PROFESÖR | ÖMER | DÖNMEZ | CV | ||
Lab Sorumlusu | PROFESÖR | AYŞE | EROL | CV |
Cihaz Adı : Wire Bonder Marka : TPT Model : HB05 Teknik Özellik : Altın " Wedge Bonding" ve "Ball Bonding" yapılabilmektedir. Altın tel çapı 25 mikrometre. Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Oksijen Plazma Temizleyici Marka : Diener Model : ZEPTO Teknik Özellik : 2,6 litrelik yüzey temizleme, yüzey aktivasyonu, yüzey aşındırma ve yüzey biriktirme için kullanılan bir plazma sistemidir. Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Güç Kaynağı Marka : Keithley Model : 2601 Teknik Özellik : Source ±DC voltage : 1?V to 40.4V Source ±DC current : 1pA to 3.03A1 Measure ±DC voltage : 1uV to 40.8V Measure ±DC current : 1pA to 3.06A Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Helyum Kaçak Tespit Dedektörü Marka : Pfieffer Vacuum Model : HLT550 Teknik Özellik : Vakum Modu Algılanablir Maksimum Kaçak Değerleri : He4 : 1 mbar l/s H2, He3 : 1×10-2 mbar l/s Sniffing Modu Algılanablir Maksimum Kaçak Değerleri : He4 : 1 mbar l/s H2, He3 : 1×10-2 mbar l/s Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Güç Kaynağı Marka : Keithley Model : 2400C Teknik Özellik : Max. Output Power: 22W, four quadrant source or sink operation. Source/Sink Limits: 2400, 2400-C: ±1.05A @ ±21V, ±105 mA @ ±210V. 2400-LV: ±1.05A @ ±21V. Current Regulation: Line: 0.01% of range. Load: 0.01% of range + 100pA. Voltage Limit: Bipolar voltage limit (compliance) set with single value. Min. 0.1% of range. Overshoot: <0.1% typical (1mA step, RL = 10k?, 20V range). Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Turbomoleküler pompa Marka : Pfeiffer Model : Hicube 80 Clasic Teknik Özellik : 230 V, 50-60 Hz Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Rotary Pompa Marka : Pfeiffer Model : Duo 3 Teknik Özellik : 115W, 50-60 Hz, Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Lock-in Amplifier Marka : STANFORD Model : SR830 Teknik Özellik : 100 kHz, >100 dB dynamic reserve, 0.01 degree phase resolution Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Sıvı Azot Üretim Cihazı Marka : Kelvinic Model : M280 Teknik Özellik : Üretim : 40-50 Lt/gün Kapasite : 120 Lt Buharlaşma Oranı : <0,8% /gün Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : PMT Soğutma Sistemi Marka : Hamamatsu Model : 994002 Teknik Özellik : Temperature rage -70 oC -90 oC Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Photomultiplier Marka : Hamamatsu Model : R3896 Photomultiplier Tube, C9525-01 Power Supply, C6270 Divider and Amplifier Unit, C9143 Cooler Teknik Özellik : Spektral Duyarlılık : 185 - 900 nm Maksimum Duyarlılık Aralığı : 450 nm Malzeme : Multialkali Minimum Etkin Alan : 8x24 mm Pencere Malzemesi : UV Cam Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Yüksek Voltaj Pulse Jeneratörü Marka : Avtech Model : AVRZ-5W-B-INV Teknik Özellik : 15 ns-10 micro s , 5kHz Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Düşük Akım / Güç Kaynağı Marka : Keithley Model : 2635 A Teknik Özellik : 30.3 W per channel maximum ± 20.2 V @ ± 1.5 A ± 202 V @ ± 100 mA Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Switch System Marka : Keithley Model : 7001 Teknik Özellik : Signals : Four 3-pole rows Maximum Voltage : 250V DC, 250V rms, 350V AC peak, signal path to signal path or signal path to chassis . Maximum Current : 1A peak Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Güç Kaynağı Marka : Keithley Model : 2601 Teknik Özellik : Source ±DC voltage : 1uV to 40.4V Source ±DC current : 1pA to 3.03A1 Measure ±DC voltage : 1uV to 40.8V Measure ±DC current : 1pA to 3.06A Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Osiloskop Marka : Lecroy Model : 715Zi Teknik Özellik : 1.5 GHz Bandwidth, 4 input channels. 20 GS/s on 2Ch Max Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Isıtıcı Marka : VELP Scientifica Model : REC Digital Heating Ceramic Plate Teknik Özellik : 0-550 oC, Digital Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Isıtıcı Marka : VELP Scientifica Model : RC Teknik Özellik : 0-370 oC, Miktar : 3 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Chiller Marka : Gazi Model : ER 1.0 Serisi Teknik Özellik : 2500 kcal/h/2.9 kW soğutma kapasitesi. Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Mikroskop Kamerası Marka : Kameram Model : A 640 – 122 CU Teknik Özellik : 3.2 Megapiksel renkli digital Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : ISI BUHARLASTIRMA FILM KAPLAMA SISTEMI THERMAL EVAPORATÖR Marka : VAKSİS Model : Özel Model Teknik Özellik : 1 Çift odacıklı 3 elektrotlu bilgisayar kontrollü sistem, metalizasyon işlemini gerçekleştirmektedir Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : ODAKLANMIS IYON VE ELEKTRON ISINI ELEKTRON MIKROSKOBU Marka : FEI Model : VERSA 3DLOVAC Teknik Özellik : Sistem Odaklanmış iyon demeti ve taramalı elektron mikroskobu ile bütünleşiktir. ikili demet sistemi, malzemelerin yüksek çözünürlükte, 2D ve 3D karakterizasyonunda, nano fabrikasyon çalışmalarında kullanılmaktadır. Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : UV MASKE HİZALAYICI Marka : SÜSS MİCROTEC Model : MJB4 Teknik Özellik : Litografide maske hizalayıcı olarak ve örnek üzerindeki fotorezist materialini UV ışığa istenilen süre kadar maruz bırakmak amacıyla kullanılır. Kontak, Hard, Soft, Vakum ve düşük vakum modları vardır. 5 saniye UV ışığa maruz bırakma ve 5 saniye bekleme süresi bulunmaktadır. Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : Ultra Saf Su Cihazı Marka : SARTORİUS Model : belirtilmemiştir Teknik Özellik : Temiz oda sistemi ile entegre Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Cihaz Adı : MEKANIK PROFILOMETRE Marka : KLA Tencor Model : P6 Profilometer Teknik Özellik : Cihaz, yüzeyin topografisini 3D olarak belirlemektedir. Bu cihaz ile yüzey pürüzlülüğü, yüzeydeki basamak derinliği, dalgalanma gibi parametreler elde edilir. Pürüzlülük derinliği ile malzemenin aşınma miktarı hakkında bilgi edinilebilir Miktar : 1 Cihaz Kaynağı : Diğer |
Adı | Açıklama | Ekip |
---|---|---|
Ultraviyole Işınım Algılamaya Yönelik "Solar Blind" Yarıiletken Sensör Geliştirilmesi | Bu proje, Nero Savunma Sanayi A.Ş. ile ortaklaşa yürütülen bir projedir. Alevin DUV (Derin Ultraviyole) karakteristik emisyonunu algılayan bir sensör üretmeyi hedefliyoruz. Prototip sensör, Prof. Dr. Ayşe Erol ve Doç. Dr. Fahrettin Sarcan tarafından tasarlandı, üretildi ve test edildi. Prototip, Teknoloji Hazırlık Seviyesi 3 (THS 3) düzeyindedir. | Nero Endüstri (Proje Partneri), Prof. Dr. Ayşe Erol (Yürütücü), Doç. Dr. Fahrettin Sarcan (Yürütücü), Ümit Doğan (Araştırmacı) |
Adı | Açıklama | Ekip |
---|---|---|
OPTİK OLARAK ÖLÇÜM YAPAN BİR MANYETİK ALAN ÖLÇÜM CİHAZI | Ömer DÖNMEZ, Ayşe EROL | |
VÜCUT SICAKLIĞI AYARLAMA ÜNİTESİ | Ayşe EROL | |
Dalgaboyu Seçiciliği Yüksek İç Kazançlı Rezonans Kaviteli Fotodedektör | Fahrettin SARCAN , Ayşe EROL |
Adı | Açıklama | Ekip |
---|---|---|
No records found. |
Adı | Açıklama | Ekip |
---|---|---|
No records found. |
Adı | Açıklama | Ekip |
---|---|---|
No records found. |
Tip | Adı | Açıklama | Ekip |
---|---|---|---|
Proje (TÜBİTAK) | 1.3 μm Dalga Boyunda Çalışan Kazançlı GaInNAs Tabanlı Rezonans Kaviteli Geliştirilmiş Fotodetektörler | Bu proje, belirli bir dalga boyunda optik bilgi alırken diğerlerini reddeden yeni fotodetektörlerin geliştirilmesiyle ilgilidir. Bu tür dedektörlerin temelini oluşturabilecek birçok yarı iletken malzeme vardır ve her biri farklı bir dalga boyuna duyarlıdır. Bu projede GaInNAs/GaAs yapısını kullanacağız. | Ayşe Erol (Yürütücü), Mehmet Çetin Arıkan (Araştırmacı), Naci Balkan (Araştırmacı), Fahrettin Sarcan (Öğrenci), Furkan Kuruoğlu (Öğrenci) |
Proje (TÜBİTAK) | Seyreltik Bizmut Modülasyonu Katkılı GaAsBi/GaAs Kuantum Kuyusu Yapılarında Bizmut Konsantrasyonunun Elektronik Transport Özelliklerine Etkisi | Bu projede, Biszut'un n- ve p- modülasyonlu katkılanmış kuantum kuyu yapıları üzerindeki optik ve elektronik transport üzerindeki etkileri, çeşitli bizmut konsantrasyonlarıyla incelenecektir. Kullanılacak örnekler, proje ekibi tarafından tasarlandı ve bunlar Tampere Teknik Üniversitesi, Finlandiya'da büyütüldü. Optik özellikler, Fotolüminesans ve Foto-modüle Edilmiş Yansıma teknikleri kullanılarak incelenirken, elektronik taşıma mekanizmalarını belirlemek için Hall Etkisi ve manyetotransport ölçümleri gerçekleştirilecektir. Ayrıca, elektron ve boşlukların satürasyon hızlarını belirlemek ve NDR etkisinin varlığında yüksek hızlı I-V ölçümleri yapılacaktır. | Prof Dr. Ömer Dönmez(Yürütücü), Prof. Dr. Ayşe Erol (Araştırmacı), Saffettin Yıldırım (Araştırmacı), Ferhat Nutku (Araşırmacı), Mehmet Çetin Arıkan (Danışman) |
Proje (TÜBİTAK) | InGaAs Gunn Diyodu Tabanlı Işık Yayan Aygıtlar | Projede, Gunn diyotlarının aktif tabakası, dalga boyunu yaklaşık 1550 nm civarında genişletmek amacıyla InGaAs yarıiletkeninden oluşmaktadır. Gunn diyot, sadece bir tür katkılı epilayerın aktif tabaka olarak kullanıldığı bir yapıya sahiptir ve çalışma koşulları, ileri yönlü besleme gerektiren p-n diyot laser yapısından farklıdır. Gunn laseri, her iki voltaj polaritesi altında çalışırken, bir p-n diyot laseri için ileri yönde beslemeye ihtiyaç duyulur. Projede, hem dalga kılavuzlu hem de dalga kılavuzu olmayan Gunn diyotları incelenmektedir. | Ayşe Erol (Yürütücü), Selman Mutlu (Araştırmacı), İlkay Demir (Araştırmacı), İzel Pertikel (Öğrenci), Göksenin Kalyon (Öğrenci), Saleh Mohammad AMINI (Öğrenci) |
Proje (TÜBİTAK) | Dalgaboyu Ayarlanabilir 2B TMDC/MEMS Hibrit Işık Yayan Diyot | Bu araştırma projesinde, iki boyutlu (2B) formlarıyla sıra dışı özelliklere sahip olan Geçiş Metali Dikalkojenit (Transition Metal Dichalcogenides, TMDC) ailesinden olan MoTe2 yarıiletkeni ve mikro elektromekanik sistem (MEMS) tabanlı ışıma dalgaboyu ayarlanabilen p-n eklem 2B MoTe2/MEMS hibrit ışık yayan diyot (Light Emitting Diode, LED) üretilmesi amaçlanmaktadır. | Doç. Dr. Fahrettin Sarcan (Yürütücü), Dr. Yue Wang (Danışman), Prof. Dr. Ayşe Erol (Araştırmacı) |
Proje (TÜBİTAK) | Ultraviyole Işınım Algılamaya Yönelik "Solar Blind" Yarıiletken Sensör Geliştirilmesi | Bu proje, Nero Savunma Sanayi A.Ş. ile ortaklaşa yürütülen bir projedir. Alevin DUV (Derin Ultraviyole) karakteristik emisyonunu algılayan bir sensör üretmeyi hedefliyoruz. Prototip sensör, Prof. Dr. Ayşe Erol ve Doç. Dr. Fahrettin Sarcan tarafından tasarlandı, üretildi ve test edildi. Prototip, Teknoloji Hazırlık Seviyesi 3 (THS 3) düzeyindedir. | Nero Endüstri (Proje Partneri), Prof. Dr. Ayşe Erol (Yürütücü), Doç. Dr. Fahrettin Sarcan (Yürütücü), Ümit Doğan (Araştırmacı) |
Proje (Kalkınma Bakanlığı) | İleri Litografik Yöntemler Laboratuvarı | Kalkınma Bakanlığı Proje No: 2010K121050 | Prof. Dr. Çetin Arıkan (Yürütücü) Prof. Dr. Ayşe Erol (Yardımcı Araştırmacı) |