İstanbul Üniversitesi
Research Laboratories Information System

İnce Film ve Kusur Karakterizasyon Labrovatuvarı

İnce Film ve Kusur Karakterizasyon Labrovatuvarı

Laboratuvarımızda yarı iletkenlerde kusurların oluşturduğu enerji seviyeleri CV, IV ve DLTS gibi elektriksel ölçüm yöntemler kullanılarak karakterize edilmektedir. Ayrıca TID ve TIDIF yöntemleri kullanılarak bazı hızlı kusurların difüzyonu çeşitli host malzemelerde incelenebilmektedir.

 Laboratuvarımızda genel olarak elektriksel ölçüm yöntemleriyle yarı-iletken malzemelerdeki çeşitli kusurların karakterizasyonu oluşturmaktadır. Özellikle kullanılan elektriksel ölçüm yöntemleri, Sığa-Gerilim (CV), Akım-Gerilim (IV), Değişken-Akım iletkenlik (AC iletkenlik) ve DLTS (Deep Level Transient Spectroscopy) gibi deneysel tekniklerdir. DLTS yöntemine ilave olarak, çok daha hassas olan LDLTS (Laplace DLTS) laboratuvarımızda uygulanan deneyler arasındadır. Ayrıca, gene DLTS yönteminden türeyen, fakat kusurların karakterizasyonu yerine, bazı bakır, demir, hidrojen gibi hızlı hareket eden kusurların difüzyonunu incelemekte kullanılan TID (Transient Ion Drift) ve TIDIF (Transient Ion Diffusion) olarak adlandırılan yöntemler de Laboratuvarımızda kullanılabilmektedir.

 


 



İstanbul Üniversitesi, Fen Fakültesi, Fizik Bölümü, Genel Fizik Anabilim Dalı, 34134 Vezneciler, Fatih, İstanbul TÜRKİYE

Toplam kullanılan BAP Kaynağı: 10.620,00 TL


© 2019 İstanbul Üniversitesi
Bilgi İşlem Daire Başkanlığı